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文章標題: 「原子力顯微技術於高效率空氣微粒濾網奈米微粒穿透量測之應用」
出版年月: 2016/11
委辦機關: 科技部
文章出處: 第23 屆國際氣膠科技研討會
作者: 郭啟文、張陸滿
摘要:
半導體業界於激烈的競爭環境之中,進入後摩爾定律的時代,10奈米的製程亦已進入量 產階段,製程環境中的奈米微粒,將易導致元件的瑕疵。奈米微粒的防治,主要藉由高效率空氣微粒濾網的過濾,來維持製程環境的潔淨度,然而目前用以量測潔淨室中奈米微 粒的凝聚 式光散射微粒計數器,在微粒濃度的適用與計測尺寸上,已不敷目前產業的需求。為鑑別高效率空氣微粒濾網於低濃度奈米微粒過濾上的效能,本研究發展新式奈米微粒的採集技術,用以高效率空氣微粒濾網的工作性能評估,協助空氣過濾系統的設計、檢驗與維護工作。

文獻摘要連結:
卷號: -----
頁碼: P.313~313
關鍵字: 微粒採樣,高效率空氣微粒濾網,奈米微粒,粒子計數
資料庫分類: 科技部、環境暴露及控制、其他暴露途徑、環境奈米物質、其他文章種類、工業/研究作業員、其他風險暴露群、技術研究者、工程/人造、工作場所
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網頁更新日期:2016/06/15